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        載帶靜電的損害

        2022-12-23 08:54:42

        靜電是一種電能,它存留于物體表面,是正負電荷在局部范圍內失去平衡的結果,是通過電子或離子的轉換而構成的。 靜電現象是電荷在發生和消失過程中發生的電現象的總稱。如沖突起電、人體起電等現象。 跟著科技發展,靜電現象已在靜電噴涂、靜電紡織、靜電分選、靜電成像等范疇得到廣泛的有用應用。但在另一方面,靜電的發生在許多范疇會帶來嚴重損害和損失。例如在阿波羅載人宇宙飛船中,因為靜電放電導致爆破,使三名宇航員喪生;在火藥制作過程中因為靜電放電(ESD),造成爆破傷亡的事端時有發生。 

        在電子工業中,跟著集成度越來越高,集成電路的內絕緣層越來越薄,互連導線寬度與距離越來越小,例如CMOS器件絕緣層的典型厚度約為0.1μm,其相應耐擊穿電壓在80-100V;VMOS器件的絕緣層更薄,擊穿電壓在30V。而在電子產品制作中以及運送、存儲等過程中所發生的靜電電壓遠遠超越MOS器件的擊穿電壓,往往會使器件發僵硬擊穿或軟擊穿(器件局部損傷)現象,使其失效或嚴重影響產品的可靠性。 為了控制和消除ESD,美國、西歐和日本等發達國家均制定了國家、軍用和企業規范或規則。從靜電敏感元器件的設計、制作、購買、入庫、檢驗、倉儲、裝配、調試、半成品與成品的包裝、運送等均有相應規則,對靜電防護器件的制作使用和辦理也有較嚴厲的規章制度要求。我國也參照國際規范制定了軍用和企業規范。例如有航天部、機電部、石油部等規范。

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